Multi-Arc PVD-dunnefilmapparatuur

Het industriële Multi{0}}Arc PVD-systeem maakt gebruik van hoge- ionisatie kathodische boog-fysische dampafzetting om dichte, stoichiometrische harde coatings (zoals TiN, TiAlN, CrN en DLC) op metalen substraten af ​​te zetten. Dit systeem is ontworpen voor contractcoatingcentra met grote volumes en eigen productielijnen en optimaliseert de slijtvastheid, wrijvingsreductie en thermische stabiliteit voor precisiecomponenten.

Gefilterde kathodische boogbronnen:Magnetische filtering minimaliseert de vorming van macrodeeltjes (druppeltjes), wat een gladdere oppervlakteafwerking oplevert (Ra <0,1 um).

Gesloten-Veld ongebalanceerde Magnetron-configuratie: Enhances substrate-zone plasma density, achieving film adhesion scratch-test critical load Lc >= 80 N.

Dubbele-gasstroomregeling:Gesloten-lusfeedbackregeling met behulp van capaciteitsmanometers en zeer-precieze MFC's voor reactieve gassen (N2, C2H2, O2).

Modulaire depositiebronnen:Verwisselbare vlakke en cilindrische lay-outs maken snelle doelwisseling mogelijk voor meer-laagarchitectuur.

Voorbewerken pomp:Mechanische steun met roterende schoep of droge schroef om het terugstromen van olie te voorkomen.

Hoge vacuümpomp: Magnetic levitation turbo molecular pump (>= 3200 L/s) gecombineerd met een wortelsblower.

Afdichtingen & kleppen:Pneumatische schuifafsluiters, ISO-F/CF-flenzen met Viton/metaalpakkingen; leksnelheid van helium-massaspectrometer < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Drukbewaking:Gecombineerde Pirani- en koude-kathode-ionisatiemeters.

Standaard kathodedoelen:Ti, Al, Cr, TiAl, Zr, Cu, Graphite (purity >= 99.95%).

Substraatmaterialen:Gecementeerde carbiden (WC-Co), HSS, gelegeerd staal (SKD11, 40Cr), titaniumlegeringen (Ti-6Al-4V) en roestvrij staal (304, 316L).

Voorbehandeling-:Vereist ultrasoon ontvetten en in{0}} in situ argonplasma-ionenetsen (Ar+ bombardement) om oppervlakteoxiden te verwijderen vóór de afzetting.

Snij- en vormgereedschap:Vingerfrezen, afwikkelfrezen en wisselplaten gecoat met TiAlN/TiN om de standtijd met 200% - 400% te verlengen bij droge bewerking.

Auto-onderdelen:Zuigerveren, injectorpennen en klepstoters zijn gecoat met CrN/DLC om grenswrijving en slijtage te verminderen.

Medische apparaten:Orthopedische schroeven, chirurgische bladen en tandheelkundige abutments die gebruik maken van TiN/ZrN voor biocompatibiliteit en corrosiebestendigheid.

Industriële hardware:Mold cavities and precision gears requiring high surface hardness (>3000 hoogspanning).

Kamergrootte:Op maat gemaakte binnendiameters en hoogteprofielen, aangepast aan specifieke batchvolumes of extra grote werkstukken.

Kathode-indeling:4 tot 12 configureerbare boogbronsleuven, symmetrisch gepositioneerd om een ​​dikteverdeling binnen +/- 8% te garanderen.

Bias-integratie:Optionele hybride integratie met hoog-gepulseerd magnetronsputteren (HPPMS) naast standaard kathodische boogbronnen.

Automatisering:Integratie met geautomatiseerde laadarmen en SCADA-productie-uitvoeringssystemen.

Materiaalinspectie:Spectrographic analysis verifying raw target metallic purity (>= 99.95%).

Structureel testen:CMM-dimensionale verificatie van kamers en hydrostatische druktesten van koelkanalen.

Fabrieksacceptatietesten (FAT):Continue drooglooptest van 72- uur- met betrekking tot mechanische rotatie, afpompcurves en thermische stabiliteit.

Coatingverificatie:Testcoupons worden geëvalueerd via pin-on-schijfslijtagetests, Rockwell-indentatie en cross-doorsnede FESEM-dikteanalyse.

Voorbereiding van de locatie:Gedetailleerde technische documentatie voor vloerbelastingslimieten, koelwaterdebieten en vereisten voor elektrische railsystemen.

Inbedrijfstelling:On-installatie op locatie, vacuümkalibratie en overdracht van basisprocesrecepten door veldingenieurs.

Operatortraining:Gestructureerde programma's voor routineonderhoud, doelvervanging, zoeken naar lekken en eenvoudige PLC-probleemoplossing.

Levenscyclusondersteuning:Integratie van diagnostische interfaces op afstand voor realtime parameterregistratie en snelle foutisolatie.