Dit multi{0}}boogionenbekledingssysteem maakt gebruik van kathodische boogverdamping om dichte, sterk-hechtende harde coatings en functionele dunne films af te zetten. Door een boog met hoge-stroom en lage- spanning op vaste kathodedoelen te laten ontsteken, wordt het materiaal onmiddellijk verdampt en geïoniseerd in een hoog-vacuümomgeving. Gecombineerd met reactieve gassen (N2, O2 of C2H2) synthetiseert het systeem stoichiometrische coatings rechtstreeks op metalen of niet-metalen substraten. De architectuur is ontworpen voor continue industriële productie en zorgt voor een stabiele boogvoortplanting, nauwkeurige stoichiometriecontrole en herhaalbare filmprestaties van batch-naar-batch.
Technische specificaties
|
Parameter |
Specificatie Bereik / Waarde |
|
Kamerafmetingen |
Aangepaste diameters van Phi 800 mm tot Phi 2000 mm (verticale of horizontale lay-out) |
|
Ultieme vacuümdruk |
<= 5.0 x 10^-3 Pa (via Roots & Molecular/Diffusion pump combination) |
|
Pomp-Stiltijd |
Atmosferische druk tot 6,0 x 10^-2 Pa in<= 15 minutes (empty, clean, dry chamber) |
|
Kathodeboogbronnen |
4 tot 16 rechthoekige of cirkelvormige gefilterde/ongefilterde boogbronnen |
|
Bias-voeding |
Pulse Bias Power (0 tot -1000 V instelbaar, frequentie 10 tot 100 kHz) |
|
Substraatrotatie |
Planetair rotatiemechanisme met variabele snelheidsaandrijving en onafhankelijke verwarming |
|
Verwarmingssysteem |
Roestvrijstalen stralingsverwarmerarray; maximale temperatuur 600 graden C (+/- 5 uniformiteit graden C) |
|
Controlesysteem |
PLC + industriële pc; geautomatiseerde receptuitvoering met handmatige override |
|
Aangesloten belasting |
80 kW tot 250 kW (afhankelijk van kamervolume en aantal bronnen) |
Belangrijkste kenmerken
Gefilterde kathodeboogtechnologie:Uitgerust met magnetische veldsturing en macro{0}}deeltjesfiltratiekanalen (druppeltjes) om oppervlaktedefecten te elimineren, wat ultra-gladde afwerkingen oplevert voor precisiecomponenten.
Gesloten-Reactieve gascontrole:Massastroomregelaars (MFC's) die zijn gekoppeld aan de totale druk en optische emissiefeedback, zorgen voor een stabiele partiële druk tijdens de synthese van reactieve verbindingen.
Meerassige planetaire armatuuraandrijving:Onafhankelijke rotatie- en omwentelingsassen zorgen voor een uniforme ionenbombardement en verdeling van de coatingdikte over complexe drie-dimensionale geometrieën.
Modulair vacuümloodgieterswerk:ISO-standaard elektro-gepolijste roestvrijstalen spruitstukken minimaliseren de ontgassing en vereenvoudigen de routineonderhoudsintervallen.
Traceerbaarheid van batchgegevens:Geautomatiseerde registratie van kamerdruk, substraatvoorspanning, boogstroom en gasstroomsnelheden voor uitgebreide kwaliteitsaudits.
Configuratie van het vacuümsysteem
Het vacuümsub-systeem is ontworpen voor snelle cycli en robuuste verwerking van procesbijproducten:
Voorbewerken fase:Draaischuifpompen of droge schroefpompen gecombineerd met Roots-blowers voor olie-vrije ruwvacuümgeneratie.
Hoog vacuümstadium:Diffusiepompen met koudevallen voor vloeibare stikstof of Turbo-Moleculaire Pompen (TMP) met hoge doorvoer, geselecteerd op basis van cleanroomvereisten en cyclustijddoelen.
Kleppen en meting:Pneumatische schuifafsluiters en isolatiekleppen met hoge- betrouwbaarheid. Vacuümmeting over het volledige-bereik met behulp van Pirani- en hete-kathode-ionisatiemeters geïntegreerd in de interlock-veiligheids-PLC.
Verdampingsmaterialen en substraatcompatibiliteit
Verdampingskathoden
Zuivere metalen:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl-legeringen, roestvrij staal.
Legeringen / verbindingen:Op maat gemaakte gesinterde doelen geformuleerd voor gespecialiseerde hardheid, wrijvingscoëfficiënten en oxidatieweerstand.
Substraatmaterialen
Gereedschapsstaal:Snel-snelstaal (HSS), wisselplaten van wolfraamcarbide, koud/warm bewerkte matrijzenstaal.
Technische metalen:Titaniumlegeringen, structureel roestvrij staal, aluminium (met gebruik van de juiste voor- voorbehandeling).
Technische keramiek:Geselecteerde industriële keramiek die een geleidende interfacevoorbereiding vereist.
Toepassingen en gespecialiseerde gebruiksscenario's
Snij- en vormgereedschappen
Coatingtypen:TiN, TiAlN, AlTiN, CrN.
Prestatie-impact:Verhoogt de oppervlaktehardheid aanzienlijk (tot 3000+ HV), verlaagt de wrijvingscoëfficiënten en is bestand tegen thermische oxidatie. Het is bewezen dat het de operationele levensduur van boren, vingerfrezen, afbraamfrezen en stempelmatrijzen verlengt onder bewerkingsomstandigheden met hoge- snelheid.
Auto-onderdelen
Toepassingen:Zuigerveren, klepstoters, onderdelen voor brandstofinjectie en decoratieve of functionele hardware voor exterieurbekleding die anti-slijtage- en corrosiebestendigheid vereisen.
Medische instrumenten
Toepassingen:Biocompatibele TiN- en TiCN-coatings op chirurgische scalpels, botschroeven en tandheelkundige implantaten om de passivatie van het oppervlak en de slijtvastheid te verbeteren.
Maatwerk
Systemen zijn ontworpen om te voldoen aan specifieke productie-footprints en procesparameters:
Kamergrootte:Aangepaste interne diameters en hoogtes afgestemd op maximale batchafmetingen en armatuurgewichten.
Bronconfiguratie:Hybride combinaties van boogbronnen en planaire magnetronsputterkathoden voor meerlaagse en nanocomposietarchitecturen.
Automatiseringsniveau:Semi-geautomatiseerde stand-alone cellen of volledig geïntegreerde productielijnen die compatibel zijn met robotachtige laadsystemen.
Kwaliteitscontrole
Heliumlektesten:Elke vacuümkamer ondergaat een strenge lektest van de massaspectrometer voordat deze in de fabriek wordt vrijgegeven (leksnelheid).<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).
Elektrische veiligheid:Schakelkasten gebouwd volgens CE/UL-conformiteitsnormen met volledig onderling vergrendelde veiligheidscircuits.
Fabrieksacceptatietesten (FAT):Tests vóór verzending worden uitgevoerd om de uiteindelijke druk, de uniformiteit van de temperatuur van de verwarming en de aanhoudende stabiliteit van de boogontsteking gedurende een continue cyclus van 24 uur te verifiëren.
Installatie en technische ondersteuning
Richtlijnen voor locatievoorbereiding:Uitgebreide documentatie over de lay-out van de nutsvoorzieningen, met betrekking tot de stroomsnelheid/druk van het koelwater, perslucht, afzuigventilatie en stroomuitval.
Inbedrijfstelling op-site:Ervaren proces- en werktuigbouwkundigen worden uitgezonden voor structurele uitlijning, verificatie van vacuümlekken, elektrische aansluiting-en overdracht van basisrecepten.
Operatortraining:Praktische training- over routineonderhoud, vervanging van kathodedoelen en probleemoplossing voor PLC's.
Diagnose op afstand:Veilige VPN-module-integratie voor realtime software-updates, parameteranalyse en snelle foutdiagnose-.
Veelgestelde vragen
Vraag: Wat is het belangrijkste voordeel van multi-boogionenplating vergeleken met conventioneel magnetronsputteren?
A: Kathodeboogverdamping zorgt voor een hoge ionisatiesnelheid van het verdampte materiaal (doorgaans 30% tot 80%), wat resulteert in uitzonderlijke filmhechting en hoge afzettingssnelheden. Het is bij uitstek geschikt voor dikke, harde keramische slijtvast-coatings.
Vraag: Hoe beheers je het probleem met macro-deeltjes (druppeltjes) dat inherent is aan boogverdamping?
A: We maken gebruik van geoptimaliseerde magnetische veldsturing om de boogspot snel over het doeloppervlak te bewegen, gecombineerd met optionele Filtered Cathode Arc (FCA) stuurkanalen die geïoniseerde damp magnetisch afbuigen terwijl macro-deeltjes worden opgevangen.
Vraag: Wat zijn de faciliteitsvereisten voor het installeren van deze apparatuur?
A: Requirements typically include a stable 3-phase power supply, a closed-loop chilled water system (~0.2 to 0.3 MPa, 15 to 20 deg C), compressed air (>= 0.6 MPa) voor pneumatische kleppen en ventilatie voor procesuitlaat. Bij de orderbevestiging worden specifieke utiliteitstekeningenpakketten verstrekt.
Vraag: Kan dit systeem geautomatiseerde meer-laag- of gradiëntcoatings uitvoeren?
EEN: Ja. De PLC- en receptbeheersoftware maakt geautomatiseerde volgordebepaling van gasstromen, voorspanningen en rotatietiming van meerdere- kathoden mogelijk om complexe meer- lagenarchitecturen of gradiëntovergangslagen aan te brengen.
Populaire tags: multi-arc ion dunne-filmapparatuur, China multi-arc ion dunne-filmapparatuur fabrikanten, leveranciers, fabriek
