Productoverzicht
Het industriële kathodische boogverdampingssysteem is een productieplatform voor fysieke dampafzetting (PVD) van -kwaliteit, ontworpen voor het aanbrengen van slijtvaste, -corrosie-bestendige en- wrijvingsarme harde coatings. Door gebruik te maken van elektrische bogen met lage-spanning en hoge- stroom, worden vaste kathodedoelen onmiddellijk op de kathodeplek verdampt en geïoniseerd, waardoor sterk geïoniseerd metaalplasma ontstaat.
Dit systeem is ontworpen en vervaardigd volgens de ISO 9001-kwaliteitsmanagementnormen en CE-conformiteitsrichtlijnen en is geconfigureerd voor hoge- coatingbewerkingen in de gereedschapsproductie, auto-onderdelen en industriële hardwaresectoren. Standaardconfiguraties integreren multi-kathode-indelingen met onafhankelijke magnetische-veldbesturing, programmeerbare DC/gepulseerde bias-voedingen en geautomatiseerde vacuümregeling om consistente filmstoichiometrie en dichte microstructuren te behouden.
-
![Arc Evaporation Thin Film-systeem]()
Arc Evaporation Thin Film-systeemHet industriële dunne-filmsysteem met kathodische boogverdamping is ontworpen voor de hoge- afzetting van dichte, sterk hechtende coatings van metaal, legeringen en keramische verbindingen. Het...Bekijk meer -
![Boogverdamping PVD-apparatuur]()
Boogverdamping PVD-apparatuurHet industriële PVD-systeem met kathodische boogverdamping maakt gebruik van elektrische bogen met lage- spanning en hoge- stroom om vaste kathodedoelen in een vacuümomgeving te verdampen. Dit...Bekijk meer -
![Vacuümboog-dunne-filmsysteem]()
Vacuümboog-dunne-filmsysteemHet industriële vacuümboog-dunnefilmsysteem maakt gebruik van kathodische boogverdamping om dichte, sterk hechtende dunne films van metaal, legeringen en keramiek af te zetten. Een hoge-stroomboog...Bekijk meer -
![Kathodische boogapparatuur voor dunne film]()
Kathodische boogapparatuur voor dunne filmSysteem voor fysische dampafzetting (PVD) dat gebruik maakt van gelokaliseerde elektrische bogen met lage- spanning en hoge- stroom om vaste kathodedoelen te verdampen tot volledig geïoniseerd...Bekijk meer -
![Apparatuur voor boogverdamping]()
Apparatuur voor boogverdampingIndustrieel platform voor fysische dampafzetting (PVD), ontworpen voor een snelle synthese van dichte, slijtvaste en functionele harde coatings. Het in stand houden van een kathodische...Bekijk meer -
![Boogverdamping Dunnefilmapparatuur]()
Boogverdamping DunnefilmapparatuurDit kathodische boogverdampingssysteem verdampt vaste kathodedoelen via een elektrische boog met lage- spanning en hoge- stroom om volledig geïoniseerd metaalplasma te genereren. Vergeleken met...Bekijk meer
Technische specificaties
|
Parameter |
Specificatiebereik / standaardconfiguratie |
|
Kamerafmetingen |
Diameter: 800 mm - 1800 mm (aanpasbare verticale/horizontale indelingen) |
|
Kamermateriaal |
Dubbel-wandig SUS304 roestvrij staal met interne waterkoeling-kanalen |
|
Ultieme vacuümdruk |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
|
Kathodeconfiguratie |
4 tot 12 rechthoekige/ronde boogbronnen met elektromagnetische besturing |
|
Boogvoeding |
300A - 500Een instelbare constante stroom, rimpel<= 2% |
|
Substraatvoorspanningskracht |
0 tot -1000 V instelbaar, gepulseerde biasfrequentie 10 kHz - 100 kHz |
|
Verwarmingssysteem |
Stralingsverwarmerarray, maximale temperatuur 600 graden +/- 5 graden uniformiteit |
|
Werkstukrotatie |
Planetaire of dubbele-asrotatie, aangedreven door magnetische vloeistofdoorvoer |
|
Controlesysteem |
PLC + industriële pc, recept-gestuurde geautomatiseerde volgordebesturing |
|
Nutsvereisten |
Koelwater: 0,25-0,35 MPa, 20-25 graden; Voeding: 380V/480V, 3-fasig, 50/60 Hz |
Boogverdampingsproces
De depositiecyclus werkt onder strikte procedurele controle om de integriteit van de film en de hechting aan het grensvlak te garanderen:
Evacuatie en ontgassing:
De vacuümkamer wordt naar de basisdruk gepompt. Substraten worden onder vacuüm verwarmd om vluchtige stoffen en restvocht van het oppervlak te verwijderen.
01
Plasma-etsen (reinigen):
Metaalionenbombardementen (met behulp van titanium- of chroomdoelbronnen) reinigen het substraatoppervlak op atomair niveau, verwijderen natuurlijke oxiden en activeren het grensvlak.
02
Reactieve afzetting:
Reactieve gassen (N2, CH4, O2) worden via massastroomregelaars (MFC's) in de kamer geïnjecteerd om te reageren met de metaalplasmaflux (bijv. Ti, Cr, AlTi), waardoor samengestelde films zoals TiN, TiAlN of CrN worden gevormd.
03
Koeling en ontluchting:
Afkoeling na-depositie vindt plaats onder een beschermende atmosfeer van inert gas voordat de kamer wordt ontlucht en onderdelen worden teruggehaald.
04
Ondersteunde kathodedoelen
Titanium (Ti) en titaniumaluminium (TiAl):Basismaterialen voor standaard TiN- en TiAlN-coatings met hoge-oxidatie-weerstand (bestand tegen oxidatie tot 900 graden).
Chroom (Cr):Gebruikt voor decoratieve afwerkingen en corrosie-bestendige CrN/CrC-lagen.
Zirkonium (Zr) en titaniumsilicium (TiSi):Toegepast voor gespecialiseerde decoratieve en extreem slijtvaste-nanocomposietfilms.
Compatibele substraatmaterialen
Snel-snelstaal (HSS):Spiraalboren, vingerfrezen, kookplaten en broches.
Gecementeerde carbiden (WC-Co):Wisselplaten, ruimers en vormmatrijzen.
Technische staalsoorten en legeringen:Klepcomponenten voor auto's, tandwielen, roestvrijstalen sanitaire hardware en medische implantaten van titanium.
Toepassingen en prestatie-impact
Snijgereedschappen voor metaal:
Afzetting van TiAlN- en AlCrN-coatings op hardmetalen wisselplaten en vingerfrezen, waardoor de levensduur van het gereedschap met 200% tot 300% wordt verlengd en droog bewerken met hoge- snelheid mogelijk wordt gemaakt.
Matrijzen vormen en stempelen:
Aanbrengen van dichte coatings met lage{0}}wrijving om lijmslijtage, vreten en vastkleven van werkstukken tijdens het dieptrekken te verminderen, waardoor de stilstandtijd met wel 40% wordt verminderd.
Auto-aandrijflijn:
Behandeling van zuigerveren, brandstofinjectiepennen en klepstoters om de grenswrijvingscoëfficiënt tot < 0,15 te minimaliseren en schuurslijtage te voorkomen.
Industriële hardware en sanitaire kraan:
Harde decoratieve PVD-lagen (TiN-goud, roségoud, zwart zirkonium) doorstaan een neutrale zoutsproeitest van minimaal 500 uur (ASTM B117).
Maatwerk en procesconfiguratie
De lay-outs van apparatuur worden geschaald op basis van het productievolume, de geometrie van de onderdelen en de voetafdruk van de fabriek:
Kamergeometrie:
Verticale laadconstructies voor zwaar gereedschap; horizontale batchconfiguraties voor het laden van armatuur met hoge- capaciteit.
Bronintegratie:
Hybride configuraties die kathodische boogbronnen combineren met ongebalanceerde magnetronsputterkathodes (RMS) om gladde, druppelvrije -meerlaagse architecturen af te zetten.
Filtratiesystemen:
Optionele magnetische macrodeeltjesfilters (gestuurde boogfilters) geïnstalleerd op kathodekanalen om macro-druppeltjes te elimineren voor optische of ultra-gladde functionele precisiecoatings.
Automatiseringsinterface:
Integratie-klaar voor robotische laadarmen en batchverwerking van automatisch geleide voertuigen (AGV).
Structurele integriteit:Kamerlichamen ondergaan lektesten met heliummassaspectrometers bij een gevoeligheidsdrempel van<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
Elektrische veiligheid en naleving:Strikt gebouwd volgens de CE- en IEC-richtlijnen voor elektrische veiligheid, met volledige isolatietests en noodveiligheidsvergrendelingen.
Functionele uitloop-(FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell indentation HF1-HF2) worden vóór verzending geverifieerd op standaard testcoupons.
Installatie en technische ondersteuning
Pakket voor locatievoorbereiding:
Uitgebreide tekeningen van de nutsvoorzieningen met details over de koelwaterdebieten, afzuigventilatie, vloerbelastingscapaciteit en elektrische valspecificaties, verstrekt 4 weken na-contract.
Inbedrijfstelling op-site:
Fabrieks-gecertificeerde procesingenieurs zorgen voor de mechanische uitlijning, vacuümlekdetectie, elektrische integratie en de initiële basisreceptconfiguratie bij de klant.
Proces Receptoverdracht:
De levering omvat standaard basisrecepten (TiN, TiAlN, CrN) en operationele training voor interne onderhouds- en engineeringteams.
Ondersteuning voor diagnose op afstand:
Systemen uitgerust met veilige industriële routergateways voor het op afstand oplossen van parameterproblemen en PLC-logicadiagnostiek.
Veelgestelde vragen
We staan bekend als een van de toonaangevende fabrikanten en leveranciers van dunnefilmapparatuur voor boogverdamping in China. Als u op maat gemaakte dunne-filmapparatuur voor boogverdamping gaat kopen, gemaakt in China, dan bent u van harte welkom om een prijslijst van onze fabriek te ontvangen. Voor prijsadvies kunt u contact met ons opnemen.
