China Multi-Arc Ion Fabrikanten van dunne-filmapparatuur Leveranciers Fabriek

Productoverzicht

Industriële multi-boogion-platingapparatuur ontworpen voor het aanbrengen van harde coatings, functionele films en decoratieve PVD-afwerkingen op precisiecomponenten. Door gebruik te maken van een vacuümboogontlading met hoge-stroom en lage- spanning, verdampt het systeem rechtstreeks vaste doelmaterialen (Ti, Cr, Al, Zr). In combinatie met reactieve gassen (N2, O2, C2H2) synthetiseert het dichte overgangsmetaalnitriden, carbiden en oxiden rechtstreeks op metalen substraten.

Deze kant-en-klare PVD-oplossing is gebouwd op een modulaire vacuümkamerarchitectuur en is geschikt voor verschillende productieschalen-van R&D-batchverwerking tot geautomatiseerde inline-productie met hoge- doorvoer. Het systeem is geoptimaliseerd voor een hoog doelgebruik en lage Total Cost of Ownership (TCO) in continue 24/7 industriële omgevingen.

Multi-apparatuur voor vacuümdepositie
Dit multi{0}}vacuümafzettingssysteem maakt gebruik van kathodische boogionenplatingtechnologie om dichte, sterk-hechtende harde coatings op metalen en niet- metalen substraten aan te brengen. Door...
Bekijk meer
Multi-boogionenafzettingssysteem
The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80% ionisatie van vast...
Bekijk meer
Multi-Arc PVD-dunnefilmapparatuur
Het industriële Multi{0}}Arc PVD-systeem maakt gebruik van hoge- ionisatie kathodische boog-fysische dampafzetting om dichte, stoichiometrische harde coatings (zoals TiN, TiAlN, CrN en DLC) op...
Bekijk meer
Apparatuur voor multi-boogionenafzetting
Het industriële multi{0}}Arc Ion Deposition-systeem genereert dichte dunne films met hoge{1}}hechtkracht door kathodische boogverdamping met hoge- stroom en lage- spanning. Vaste doelmaterialen...
Bekijk meer
Multi-Arc Ion-dunnefilmsysteem
Het industriële Multi{0}}Arc Ion Thin Film-systeem maakt gebruik van kathodische boogverdamping om dichte keramische en metalen coatings met hoge{1}}hechtkracht op metalen en gelegeerde substraten...
Bekijk meer
Multi-Arc Ion-dunnefilmapparatuur
Dit multi{0}}boogionenbekledingssysteem maakt gebruik van kathodische boogverdamping om dichte, sterk-hechtende harde coatings en functionele dunne films af te zetten. Door een boog met...
Bekijk meer

Technische specificaties

Parameter	Specificatiebereik	Eenheid / Opmerking
Kamerafmetingen	Ф600 x 600 tot Ф1500 x 1800	mm (Aangepaste verticale of horizontale configuraties)
Ultieme vacuümdruk	<= 5.0 x 10^-4	Pa (droge pomp + turbo-moleculaire / oliediffusieset)
Kathodeboogbronnen	4 tot 16 eenheden	Elektromagnetisch gestuurde of gefilterde boogbronnen (FCA)
Substraatvoorspanningskracht	0 tot -1000	V (geavanceerde gepulseerde DC / MF bias-mogelijkheden)
Verwarmingstemperatuur	Kamertemperatuur tot 600	C (PID-gestuurde stralingsverwarmers)
Uniformiteit van depositie	<= +/- 5%	Gemeten via XRF over de effectieve werkzone
Controlesysteem	PLC + Industriële PC	Geautomatiseerde receptuitvoering, SCADA-datalogging
Veiligheid en naleving	CE, ISO9001	UL--compatibele elektrische behuizingen zijn op aanvraag verkrijgbaar

Multi-boogionenafzettingsproces

De fysieke dampafzettingssequentie werkt volgens een strikte, gesloten- geautomatiseerde workflow om de herhaalbaarheid van batches- tot- batches te garanderen:

Evacuatie en ontgassing:

De vacuümkamer wordt leeggepompt tot een basisdruk van<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.

Plasma-etsen (bombardement):

Er wordt argongas geïntroduceerd. Er wordt een hoge negatieve spanning op de substraathouder uitgeoefend, waardoor Ar-ionen worden gegenereerd die het oppervlak bombarderen om natuurlijke oxiden en micro-verontreinigingen weg te sputteren.

Boogverdamping en ionisatie:

DC-boogstroom raakt de massieve metalen kathode. De lokale kathodevlek bereikt een extreme energiedichtheid, waardoor het doelmateriaal onmiddellijk verdampt in een plasmastroom met hoge-dichtheid (ionisatiesnelheid > 80%).

Reactieve afzetting:

Reactieve gassen worden via Mass Flow Controllers (MFC's) bij nauwkeurig gecontroleerde partiële drukken in de plasmaflux geïnjecteerd, waardoor stoichiometrische samengestelde films op roterende substraten worden gevormd.

Koeling en ontluchting:

Gecontroleerde koeling vindt plaats onder bescherming van inert gas voorafgaand aan het ontluchten van de kamer, waardoor de oxidatie van vers gecoate onderdelen wordt voorkomen.

Filmmaterialen en coatingeigenschappen

Het systeem ondersteunt multi-metaalkathode-opstellingen, waardoor monolaag-, meerlaags-, nano--composiet- en gradiëntfilm-architecturen mogelijk zijn:

TiN (titaannitride):

Standaard gouden coating; hardheid 2200–2400 HV; wrijvingscoëfficiënt 0,4. Primair gebruik: algemene snijgereedschappen en mechanische slijtagedelen.

TiAlN (titaniumaluminiumnitride):

Oxidatiebestendigheid bij hoge- temperaturen tot 850 C; hardheid 3000–3300 HV. Primair gebruik: droge-snelbewerkingsinzetstukken en motorkleppen.

CrN / CrAlN (chroomnitride):

Uitstekende corrosieweerstand en lage interne spanning; anti-vastloopeigenschappen tegen non-ferrometalen. Primair gebruik: vormen van mallen, zuigerveren en onderdelen van textielmachines.

ZrN / TiCN:

Lage oppervlakteruwheid (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.

Toepassingen

Precisie snijgereedschappen:

Vingerfrezen, boren, freesfrezen en wisselplaten die een langere standtijd vereisen bij hoge thermische belastingen.

Auto-aandrijflijn:

Zuigerpennen, klepstoters, brandstofinjectiecomponenten en tandwieloppervlakken vereisen verminderde grenswrijving en schuurweerstand.

Mallen en matrijzen:

Kunststof spuitgietmatrijzen, stempelmatrijzen en spuit-gietinzetstukken die weerstand vereisen tegen lijmslijtage en thermische vermoeidheid.

Lucht- en ruimtevaartcomponenten:

Turbinebladen en titanium bevestigingsmiddelen die werken onder agressieve corrosieve en hoge- stressomgevingen.

Maatwerk en systeemconfiguratie

Standaardcatalogusitems passen zelden perfect in speciale fabrieksindelingen. Apparatuurconfiguraties worden op maat gemaakt op basis van specifieke componentgeometrie, cyclustijddoelen en faciliteitsbeperkingen:

Kamergeometrie:

Achthoekige of cilindrische roestvrijstalen kamers (SUS304/SUS316L) met dubbel-waterkoelmantels-.

Bronindeling:

Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).

Substraatbevestiging:

Planetaire rotatie (3--assen) of mechanismen met enkele rotatie aangedreven door magnetische vloeistofdoorvoeren om een uniforme coatingdekking op complexe 3D-geometrieën te garanderen.

Pompstapelopties:

Rootsblowers, schottenpompen, cryogene pompen of turbomoleculaire pompen die zijn geconfigureerd om te voldoen aan strikte afpomp-cyclustijden.

Kwaliteitscontrole- en testprotocollen

Elke machine ondergaat strikte Factory Acceptance Tests (FAT) vóór verzending, gedocumenteerd voor beoordeling door de koper:

Vacuüm integriteitstest:

Heliumlekdetectie met behulp van massaspectrometrie (leksnelheid).<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).

Elektrische veiligheid en brand-in:

72 uur continu drooglopen van voedingen, waterkoelingsvergrendelingen en PLC-automatiseringslogica.

Coatingverificatie (intern-huislaboratorium):

Proefruns getest via Calo--test (filmdikte), Rockwell-indentatie (adhesiesterkte) en nano-indentatie (hardheid).

Installatie, inbedrijfstelling en technische ondersteuning

Richtlijnen voor locatievoorbereiding:

Er zijn gedetailleerde tekeningen van de nutsvoorzieningen beschikbaar voor de stroom/druk van het koelwater, perslucht, afzuigventilatie en vereisten voor elektrische railsystemen.

SAT & Inbedrijfstelling:

On-installatie ter plaatse (Site Acceptance Testing), vacuümkalibratie en overdracht van basisrecepten uitgevoerd door senior PVD-procesingenieurs.

Procestraining:

Praktische-training voor operators over schema's voor kathodevervanging, preventief vacuümonderhoud, probleemoplossing en optimalisatie van basisrecepten.

Ondersteuning voor reserveonderdelen:

Kritieke slijtagecomponenten (kathodes, schilden, isolatoren en afdichtingen) op voorraad voor wereldwijde verzending binnen 48 uur.

Veelgestelde vragen

Vraag: Hoe onderdruk je macrodeeltjes (druppeltjes) die inherent zijn aan multi-boogionenplating?

A: We maken gebruik van instelbare magnetische stuurvelden in combinatie met geoptimaliseerde boogstroomgolfvormen om kathodepunten te stabiliseren en de druppelemissie te verminderen. Voor ultra-soepele optische of medische toepassingen kan het systeem worden geïntegreerd met Filtered Cathodic Arc (FCA)-bronnen.

Vraag: Wat is de typische doorlooptijd voor een aangepaste kamerconfiguratie?

A: Standaardconfiguraties worden binnen 16 tot 20 weken verzonden. Volledig op maat gemaakte kamerafmetingen, geautomatiseerde robotlaadinterfaces of gespecialiseerde cryogene pompsystemen vereisen 24 tot 30 weken vanaf goedkeuring van de P&ID-tekening.

Vraag: Kan het systeem meerdere coatingrecepten opslaan voor verschillende onderdeelfamilies?

EEN: Ja. Het industriële PLC-besturingssysteem slaat maximaal 100 individuele procesrecepten op. Dit maakt geautomatiseerde uitvoering met één- aanraking via gasmassastroomregelaars (MFC's), bias-spanningstoename, boogstroomsequentie en specifieke staptijden mogelijk.

We staan bekend als een van de toonaangevende fabrikanten en leveranciers van multi-arc-ion-dunnefilmapparatuur in China. Als u op maat gemaakte multi-arc-ion-dunnefilmapparatuur gaat kopen die in China is gemaakt, kunt u een prijslijst van onze fabriek ontvangen. Voor prijsadvies kunt u contact met ons opnemen.