The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80% ionisatie van vast kathodemateriaal, waardoor ionenbombardementen met hoge energie- in het substraatgrensvlak terechtkomen voor superieure filmadhesie vergeleken met magnetronsputteren.
De dubbel-wandige roestvrijstalen- vacuümkamer herbergt modulaire boogbronnen en een PLC-gecontroleerde geautomatiseerde cyclus die de pomp-naar beneden beheert, in- plasma-etsen, reactieve gasafgifte en meer- depositie in lagen.
Technische specificaties
|
Parameter |
Specificatie |
|
Kamergrootte |
Aangepaste binnendiameter (Phi 800 mm - Phi 1500 mm) |
|
Scheepsmateriaal |
Dubbel-wandige SUS304 / SUS316L met interne koelkanalen |
|
Basis druk |
<= 5.0 x 10^-3 Pa (dry-pumped) |
|
Pomp-Stiltijd |
Atmosfeer tot 6,0 x 10^-2 Pa in<= 15 minutes (clean, empty) |
|
Boogkathoden |
4 tot 12 rechthoekige of ronde bronnen |
|
Voedingen |
DC-boog (0-200 A) en gepulseerde bias (0-3000 V) |
|
Substraatrotatie |
Multi- planetaire/enkele-rotatie via magnetische vloeistofdoorvoer |
|
Controlesysteem |
Siemens S7-1500 PLC + IPC met geautomatiseerde recepten |
|
Nutsvereisten |
Koelwater (18-25 C, 0,2-0,4 MPa); Perslucht (0,5-0,7 MPa) |
Belangrijkste kenmerken
Hoge ionisatiesnelheid:Minimaliseert filmdelaminering via dicht ionenbombardement.
Gecontroleerde boogstabiliteit:Programmeerbare triggers en gesloten-stroomregeling onderdrukken de vorming van macrodeeltjes (druppeltjes) en voorkomen doelvergiftiging onder reactieve gassen (N2, C2H2, O2).
Modulaire boogbronnen:Zij- en deurplaatsingen passen zich aan complexe 3D-gereedschapgeometrieën aan voor een uniforme dikteverdeling.
Gepulseerde substraatbias:Gesynchroniseerde spanningspulsen passen de restspanning, korrelverfijning en microhardheid aan.
Zware-rotatiefasen:Planetaire armaturen ondersteunen batchbelastingen tot 500 kg onder hoge thermische en vacuümbelastingen.
Configuratie van het vacuümsysteem
Voorbewerken en wortels:Meer-traps droge schroefpompen in combinatie met Roots-blowers voorkomen koolwaterstofverontreiniging tot aan de overgangsdruk.
Hoog vacuüm:Turbomoleculaire of diffusiepompen onderhouden een ultra-hoge basisdruk.
Trapping en meting:Optionele koudevallen voor vloeibare stikstof; breed-bereik Pirani/koude-kathode-combinatiemeters.
Verdampingsmaterialen en substraatcompatibiliteit
Kathodedoelen:Zuivere metalen (Ti, Cr, Al, Zr, Mo, W) en legeringsdoelen (TiAl, TiSi, CrAl, WC-Co).
Substraatmaterialen:Snel-snelstaal (HSS), hardmetalen wisselplaten, gereedschapsstaal voor koud/warm werk (SKD11, H13), roestvrij staal en titaniumlegeringen.
Voorbehandeling-:Waterige ultrasone reiniging gevolgd door in- in situ Ar+- of metaalionbombardementetsen om natuurlijke oxiden te verwijderen.
Toepassingen
Snijgereedschappen:TiN, TiAlN, and AlCrN coatings on end mills and drills to achieve >3000 HV oppervlaktehardheid en oxidatieweerstand.
Mallen en matrijzen:Beschermende lagen op spuitgietmatrijzen en stempelmatrijzen om vreten en schurende slijtage te voorkomen.
Automobiel:DLC- en CrN-coatings op zuigerveren, tandwielen en injectorpennen om de wrijvingscoëfficiënten te verlagen.
Medische apparaten:Biocompatibele TiN/TiCN-coatings op chirurgische instrumenten en implantaten.
Aanpassingsopties
Kamerafmetingen en poortindeling:Op maat gemaakte poorten voor volume- en optische emissiemonitoring (OEM).
Generatoren:Door de klant-gespecificeerde merken voedingen of gespecialiseerde gepulseerde-voorspanningsconfiguraties.
Filtratie:Magnetische stuurvelden en macrodeeltjesfilters voor optische/elektronische afwerkingen zonder-druppeltjes.
Automatisering:SCADA-integratie en SQL-databaseconnectiviteit voor Industry 4.0-datalogging.
Kwaliteitscontrole en fabrieksacceptatietests
Lektesten:Heliummassaspectrometer testen op alle lassen (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m3/s).
Elektrische veiligheid:Isolatieweerstand, aarding en vergrendelingsverificatie volgens CE/NFPA-normen.
Functioneel drooglopen:72 uur durende continue mechanische en klepcyclustest.
Procesverificatie:Referentiecoupontests voor nano-indentatiehardheid en krashechting.
Installatie en ondersteuning
Pre-installatie:Blauwdrukken voor de nutsvoorzieningen voor stroom, water, uitlaatgassen en perslucht.
Inbedrijfstelling:Installatie en proefdraaien op locatie- onder toezicht van fabrieksingenieurs.
Opleiding:Praktische bediening-, kathodevervanging en coaching voor routinematig onderhoud.
Levenscycluszorg:Veilige VPN-diagnose op afstand en lokale levering van reserveonderdelen.
Veelgestelde vragen
Vraag: Hoe worden macrodeeltjes (druppeltjes) gecontroleerd tijdens kathodische boogafzetting?
A: De beperking is afhankelijk van geoptimaliseerde boogstromen, magnetische besturing met hoge-snelheid en optionele magnetische macrodeeltjesfilters voor ultra-gladde oppervlaktevereisten.
Vraag: Wat is de typische benuttingsgraad van het kathodedoel?
A: Het gebruiksbereik ligt tussen 55% en 70%, gebaseerd op kathode-erosieprofielen en magnetische veldconfiguraties.
Vraag: Kan het systeem reactieve gasafzetting beheren voor films met meerdere- elementen, zoals TiAlN?
EEN: Ja. Massastroomregelaars (MFC's) gebruiken optische emissie of partiële drukfeedback om reactieve stromen (N2, CH4) te stabiliseren en de stoichiometrische samenstelling te behouden.
Vraag: Wat zijn de elektrische stroomvereisten?
A: Standaardsystemen vereisen driefasige voeding (380V-480V, 50/60 Hz), met een totaal laadvermogen van 60 kVA tot 150 kVA, afhankelijk van de hoeveelheid kathode.
Populaire tags: multi-boogionenafzettingssysteem, China multi-boogionenafzettingssysteemfabrikanten, leveranciers, fabriek
