Ion-Ondersteunde vacuümverdampingsapparatuur

Het Ion-ondersteunde vacuümverdampingssysteem integreert hoog-vacuüm thermische of elektronen-verdampingsbronnen met een Kaufman-type of End-Hall-ionenbron. Door de groeiende film te bombarderen met geïoniseerd gas (Ar of O2) tijdens fysische dampafzetting (PVD), draagt ​​het systeem kinetische energie over aan adatomen, waardoor de kolomvormige microstructuur wordt onderdrukt en vochtabsorptie in optische en diëlektrische dunne films wordt voorkomen.

Het systeem is gebouwd voor cleanroom-integratie en continue productie in meerdere-ploegendiensten en schaalt van R&D-oppervlakken (kamers van 300 mm) tot industriële lijnen met hoge- doorvoer (configuraties met dubbele- 900 mm dubbele deuren en planetaire rotatie).

Bijna-bulkdichtheid:Verhoogde adatom-oppervlaktemobiliteit elimineert zichtbare filmporositeit en maximaliseert de mechanische hardheid.

Intrinsieke stressafstemming:Instelbare ionenbundelenergie neutraliseert mechanische spanning en voorkomt delaminatie op dikke diëlektrische stapels.

Lage-thermische-budgetverwerking:Door de impuls-gedreven verdichting is hoogwaardige coating- mogelijk op temperatuur-gevoelige polymeersubstraten zonder thermische vervorming.

Receptautomatisering:PLC-gestuurde vacuümvergrendelingen en pomp-down-sequencing beheerd via een industrieel touch-paneel HMI met datalogging.

Voorbewerken fase:Mechanische twee-traps roterende schoepenpomp gekoppeld aan een wortelsblower (snelheid van 150 l/s) voor snelle overschakeling.

Hoog vacuümstadium:Magnetisch zwevende turbomoleculaire pomp (1600 l/s), ondersteund door een olie-vrije droge scrollpomp om het terugstromen van koolwaterstoffen te elimineren.

Cryogene optie:Vloeibare stikstof-koelval en cryopomp-integratie voor lage partiële waterdampdrukken-.

Vacuümmeting:Cross-gekalibreerde Pirani- en koude-kathodemeters voor realtime-feedback van de atmosfeer tot 10^-7 Pa.

Verdampingsmaterialen
Oxiden:SiO2, TiO2, Ta2O5, Nb2O5, Al2O3

Fluoriden:MgF2, LaF3

Metalen:Al, Ag, Au, Ti, Cr

Substraatcompatibiliteit
Optische substraten:Ramen van gesmolten silica, N-BK7, silicium, germanium en zinkselenide.

Halfgeleiderwafeltjes:100 mm tot 300 mm silicium- en samengestelde halfgeleiderwafels.

Polymeren:PET-, PI- (polyimide) en PMMA-films die gebruikmaken van IAD-parameters bij lage- temperaturen.

Precisie-optiek:Anti{0}}reflecterende (AR) coatings, laserspiegels en smalle banddoorlaatfilters die vochtbestendigheid vereisen.

Micro-elektronica:Metalen poortelektroden, adhesielagen en passivatiebarrières in halfgeleiderverpakkingen.

Opto-elektronica:Transparante geleidende oxide (TCO) contacten en OLED-vocht-inkapselingslagen.

Kamergeometrie:Rechthoekige of cilindrische constructies afgestemd op de beperkingen van cleanroomwanden.

Integratie van meerdere- bronnen:Co-verdampingsopstellingen met plaats voor maximaal drie E-beam-kanonnen en vier thermische boten.

Metrologiepoorten in- in situ:Flensintegratiepoorten voor spectroscopische ellipsometers of optische monitoringsystemen.

Automatiseringsniveau:Semi-automatische onderzoeksconstructies of volledig geautomatiseerde verwerking van cassette-tot-cassettewafels.

Lekdetectie:Heliummassaspectrometertests in elke kamer met een strikte afkeurdrempel van < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Reinheidscontrole:Scan van restgasanalysator (RGA) uitgevoerd vóór- verzending om te verifiëren dat er geen organische koolwaterstoffen aanwezig zijn.

Systeembranden-In:72-uur durende continue droogtest van mechanische aandrijvingen, koelspruitstukken en elektrische vergrendelingen.

Documentatie:Materiaalmolentestcertificaten (MTR's), elektrische schema's en Factory Acceptance Test (FAT)-rapporten.

Voorbereiding van de locatie:Detailed facility guide covering floor loading, chilled water (>= 5 m^3/u), schone, droge lucht (CDA) en uitlaat.

Inbedrijfstelling:Implementatie van buitendienst voor mechanische waterpasstelling, aansluiting van nutsvoorzieningen, vacuümkalibratie en aftekenen van recepten-.

Operatortraining:Programma van vijf- dagen op locatie, inclusief bediening, preventief onderhoud, probleemoplossing en veiligheidsvergrendelingen.

Reserveonderdelen:Kritieke slijtageartikelen (filamenten, QCM-kristallen, afdichtingen, turbomoleculaire lagers) zijn regionaal op voorraad.