Industrieel-ionen-ondersteund verdampingssysteem (IAE) dat de verdamping van multi-pocket-elektronen-bundels integreert met een energetische ionenbundelbron (End-Hall- of Kaufman-configuratie). Real- ionenbombardement brengt kinetisch momentum over op condenserende adatomen, onderdrukt de groei van kolomvormige korrels en stuwt de pakkingsdichtheid van dunne- films naar de waarden van bulkmateriaal.
Geconfigureerd voor batchverwerking op planetaire rotatiearmaturen onder dubbele-PLC-automatisering. Kerntoepassingen zijn onder meer optische interferentiecoatings met een hoge-laser-schade-drempel (LIDT), dichte diëlektrische filterstapels en duurzame beschermende deklagen.
Technische specificaties en procesmogelijkheden
|
Parameter |
Specificatie en procesmogelijkheden |
|
Ultieme basisdruk |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (clean, dry, empty chamber) |
|
Pomp-Stiltijd |
< 15 min from atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa |
|
Kamer constructie |
304L / 316L roestvrij staal; inwendig elektrolytisch polijsten (Ra<= 0.4 um) |
|
Bron van elektronenbundels |
6 kW / 10 kW multi-zakveegpistool (4 tot 6 smeltkroezen) |
|
Type ionenbron |
Eind-Hall of Kaufman brede-balk; Energie: 50 - 300 eV; Stroom: 0 - 1000 mA |
|
Substraattemperatuur |
Omgeving tot 300 graden C (+/- 2 graden C PID gesloten-lusuniformiteitscontrole) |
|
Dikte-uniformiteit |
<= +/- 1.0% across a 400 mm deposition zone (with planetary rotation) |
|
Intrinsieke stressbeheersing |
<= +/- 50 MPa (Compressive/Tensile tunable via ion energy adjustment) |
|
Herhaalbaarheid van de brekingsindex |
Delta z<= +/- 0.001 verified over 50 consecutive production runs |
|
Systeembeschikbaarheid (uptime) |
>= 95% operationele beschikbaarheid bij continue productie met meerdere-ploegendiensten |
|
Controlearchitectuur |
Dubbele-PLC industriële controller met hardwareveiligheidsvergrendelingen en receptbeheer |
Belangrijkste kenmerken
Energetisch ionenbombardement:Real{0}} momentumoverdracht elimineert microholtes, waardoor de brekingsindices worden gestabiliseerd tegen door vocht-geïnduceerde spectrale verschuivingen.
Reactief gasbloeden:Gecontroleerde partiële drukinjectie van O2 of N2 compenseert het zuurstoftekort tijdens de afzetting van oxide/nitride, waardoor sub-oxide-absorptiebanden worden verwijderd.
Modulair brondeck:Vervanging van het ionenbronrooster in cassette-stijl en verwisselbare E-beam-pockets verminderen de hersteltijd van de kamerventilatie-naar-vacuüm tot minder dan 2 uur.
Vacuümintegriteit:Metaal-afgedichte en Viton-afgedichte ISO/CF-flenzen in combinatie met pneumatische schuifafsluiters voorkomen kruisbesmetting- tussen partijen.
Configuratie van het vacuümsysteem
Voorbewerken pakket:Wortelblazer ondersteund door draaischuif- of olie-vrije hermetische mechanische scroll-pompen.
Hoge-vacuümpomp:Cryogenic pump (cryopump) or magnetically levitated turbomolecular pump (air throughput >= 2200 L/s).
Drukmeting:Combinatie van Pirani en hete{0}}kathode-ionisatiemeters voor continue registratie van atmosfeer tot hoog vacuüm.
Procesdrukregeling:Gesloten-capaciteitsmanometer die een geautomatiseerde vlinderklep aandrijft tijdens gasinjectie.
Verdampingsmaterialen en substraatcompatibiliteit
Verdampingsmaterialen:
Oxiden:SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5, HfO2
Fluoriden:MgF2, LaF3
Metalen:Au, Ag, Al, Cr, Ti
Substraatmaterialen:
Optisch glas (BK7, gesmolten silica, kwarts)
Halfgeleiderwafels (silicium, galliumarsenide)
Kristallen (LiNbO3, saffier, YAG)
Armatuurgeometrie:Op maat gemaakte planetaire rotatiekooien, koepelbevestigingen en platte-plaathouders ontworpen voor specifieke batchvolumes.
Toepassingen en empirisch prestatiebewijs
Laserinterferentiefilters:Smalband- en randfilters die uitdovingsverhoudingen vereisen met een blokkeerdiepte > OD6 bij 1064 nm.
Anti-reflecterende (AR) coatings:Meer-laags breedband AR-coatings voor krachtige- laservensters en camera-optiek.
Spiegels aan de voorkant:Metalen reflectoren met lage-verstrooiing, beschermd door harde diëlektrische overlagen voor lucht- en ruimtevaart- en defensie-instrumenten.
Halfgeleider diëlektrische lagen:Passiverende en isolerende diëlektrische filmafzetting op temperatuur-gevoelige substraten.
Maatwerk
Kamergrootte:Interne diameters geschaald van 700 mm tot 1300 mm.
Bronintegratie:Dubbele E-beam-opstellingen, thermische weerstandsbronnen of co-configuraties voor depositie.
Automatiseringsniveau:Semi-automatisch handmatig laden of volledig geïntegreerde robotische substraathantering met laad-vergrendelingen.
Naleving:CE-, UL/CSA-elektrische panelen en SEMI S2/S8-veiligheidspakketten.
Kwaliteitscontrole en fabrieksverificatie
Lekdetectie:Massaspectrometer-heliumlektesten van alle kamers en afdichtingen tot < 1 x 10^-10 Pa*m^3/s.
Dimensionale inspectie:CMM-verificatie van interne montageflenzen en optische profilometrie ter bevestiging van de ruwheid van de kamerwand (Ra<= 0.4 um).
Branden-Tijdens testen:72-uur continu droog-testen van vacuümpompen, hoogspanningsvoedingen en PLC-vergrendelingslussen.
Procesacceptatietesten (FAT):Referentiecoatingrun waarbij de stabiliteit van de depositiesnelheid en de brekingsindexdoelstellingen worden geverifieerd aan de hand van vooraf-overeengekomen criteria.
Installatie en technische ondersteuning
Richtlijnen vóór-installatie:Lay-outtekeningen met betrekking tot gekoeld water, afzuigventilatie, elektrische belastingen en draagvermogen van de vloer.
Inbedrijfstelling op-site:Veldtechnische uitvoering van mechanische uitlijning, lekcontroles, aansluitingen voor nutsvoorzieningen en gezamenlijke SAT-tests.
Procestraining:Operator- en onderhoudstraining over receptprogrammering, onderhoud van ionenbronnen en pompregeneratie.
Levenscyclusondersteuning:Integratie van diagnostische interfaces op afstand en gelokaliseerd voorraadbeheer van reserveonderdelen.
Veelgestelde vragen
Vraag: Hoe voorkomt ionenondersteuning optische golflengteverschuiving?
A: Energetisch ionenbombardement comprimeert de filmstructuur door momentum over te dragen aan adatomen, waardoor microscopisch kleine holtes worden geëlimineerd. Dit voorkomt de absorptie van atmosferisch vocht, waardoor de brekingsindex en de transmissiespectra stabiel blijven.
Vraag: Wat is het onderhoudsprotocol en de downtime voor de ionenbron?
A: Einde zonder rooster-Hallionbronnen vereisen elke 200 tot 300 procesuren een interne componentinspectie. Dankzij het cassette-stijl snelle-wisselontwerp kunnen technici de ionenoptiek vervangen of onderhouden en de kamer binnen twee uur weer vacuüm trekken.
Vraag: Kan het systeem zowel QCM als optische monitoring integreren?
EEN: Ja. Dubbele-bewakingsconfiguraties maken gebruik van QCM voor initiële basislaagsnelheden en optische monitoring (OMS) om transmissie-/reflectie-extrema te volgen voor nauwkeurige beëindiging van de kwart{2}}golflaag.
Vraag: Wat zijn de primaire nutsvereisten voor een standaardkamer van 900 mm?
A: 3-phase power (380V / 480V, 50/60 Hz), chilled cooling water (~ 15 to 20 deg C at 4 - 6 bar), compressed air (>= 0.6 MPa) en 99,999% zuivere procesgassen (Ar, O2) geregeld op 0.2 - 0.3 MPa.
Populaire tags: ion-ondersteunde dunnefilmapparatuur voor verdamping, China ion-ondersteunde dunnefilmapparatuur voor verdamping, leveranciers, fabriek
