Arc Evaporation Thin Film-systeem

Het industriële dunne-filmsysteem met kathodische boogverdamping is ontworpen voor de hoge- afzetting van dichte, sterk hechtende coatings van metaal, legeringen en keramische verbindingen. Het systeem werkt via een laag-spanning en hoge- stroomboogontlading op vaste kathodedoelen en verdampt materiaal rechtstreeks in een sterk geïoniseerde plasmatoestand (40% - 80% metaalionenverhouding). Dit drijft energetische ionen in het substraatgrensvlak, waardoor een superieure coatinghechting ontstaat in vergelijking met standaard thermische verdamping of conventionele sputtermethoden.

Het systeem is gebouwd voor productieomgevingen en geavanceerde materiaalonderzoekscentra en brengt harde, slijtvaste -resistente tribologische lagen-zoals TiN, TiAlN, CrN en AlCrN- aan op snijgereedschappen, vormmallen en fijnmechanische componenten. De modulaire vacuümkamer biedt ruimte aan schaalbare configuraties met meerdere-kathoden en geautomatiseerde planetaire rotatie met 3- assen om de herhaalbaarheid van batch- tot batch te garanderen.

Magnetische-stuurkathodetechnologie:Gesloten-magneetvelden met lus vegen de kathodevlek over het doeloppervlak, waardoor de benuttingsgraad van het doel boven de 55% komt en plaatselijke kratervorming wordt onderdrukt.

Plasma met hoge ionisatiesnelheid Genereert metaalionverhoudingen tot 80% en levert hoge kinetische energie voor dichte filmgroei en diepe metallurgische diffusie aan het substraatgrensvlak.

Programmeerbare meer-laagafzetting:Industriële PLC gecombineerd met een HMI-besturingsarchitectuur voert geautomatiseerde sequentiebepaling van reactieve gassen (N2, O2, C2H2) uit voor functionele gradiënt- en nanolaagcoatingarchitecturen.

In-plasma-etsen in situ:Integreert metaalionenbombardementen en ongebalanceerde magnetronreinigingsfasen voorafgaand aan de afzetting om natuurlijke oxiden en oppervlakteverontreinigingen te verwijderen.

Het vacuümsubsysteem is ontworpen voor snelle afpompcycli- en stabiele operationele druk onder continue reactieve gasinvoer:

Fase voor voorbewerken en wortels:Direct-aangedreven draaischuif- of droge schroefpomp in combinatie met een Roots-blower, waardoor de kamer binnen 5 minuten wordt geëvacueerd van atmosferische druk naar 10 Pa.

Hoog vacuümstadium:Turbomoleculaire pomp met magnetische levitatie die een hoge volumetrische pompsnelheid levert voor waterdamp en restgassen, waardoor basisdrukdoelen onder 5,0 x 10^-4 Pa worden gewaarborgd.

Kleppen en meting:Pneumatische schuifafsluiters en elektro{0}}pneumatische hoekkleppen geïntegreerd met het volledige-assortiment Pirani/Penning-combinatiemeters voor geautomatiseerde veiligheidsvergrendelingen.

Drukregeling:Gesloten-luscapaciteitsmanometerfeedback aangesloten op-zeer nauwkeurige massastroomregelaars (MFC's) om de reactieve partiële gasdruk tijdens reactieve afzetting te stabiliseren.

Doelmaterialen
Zuivere metalen:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Nb.

Legeringsdoelen:TiAl (50/50, 33/67), TiSi, CrAl.

Koolstof:Grafietdoelen voor hybride afzetting van diamant-achtige koolstof (DLC).

Substraatcompatibiliteit
Hardmetalen / gecementeerde carbiden:WC-Co-snijplaten, vingerfrezen en vormgereedschappen.

Hogesnelheidsstaalsoorten (HSS):Kranen, spiraalboren en broches.

Techniekstaal:Roestvrij staal, titaniumlegeringen en superlegeringen op basis van -nikkel- op hoge temperatuur.

Structurele keramiek:Componenten van aluminiumoxide en siliciumnitride die tribologische modificatie vereisen.

Snij- en bewerkingsgereedschappen:Afzetting van TiAlN- en AlCrN-coatings op hardmetalen wisselplaten om de oxidatieweerstand tot 900 graden Celsius te verhogen en de standtijd te verlengen tijdens droogsnijden op hoge- snelheid.

Auto-onderdelen:Harde coating van zuigerveren, klepstoters en brandstofinjectiepennen om grenswrijvingscoëfficiënten onder de 0,1 te verminderen en slijtage te voorkomen.

Mallen en matrijzen:Aanbrengen van CrN- en TiCN-films op kunststof spuitgietmatrijzen en metalen stempelmatrijzen om lijmslijtage en materiaalvreten te voorkomen.

Lucht- en ruimtevaarthardware:Beschermende erosie-bestendige coatings op precisiebevestigingsmiddelen en compressoronderdelen die in corrosieve omgevingen werken.

Kamergeometrie:Ontwerpen voor verticale laaddeuren-stijl of horizontale voor-laaddeuren die zijn afgestemd op de indeling van de winkel-vloeren.

Hybride bronintegratie:Configuraties met dubbele-technologie die kathodische boogverdampers combineren met ongebalanceerde magnetronsputterkathodes (UBMS) of lineaire ionenkanonnen.

Automatiseringsniveau:Opties voor fabrieksintegratie, waaronder geautomatiseerde robotlaadarmen of montage aan een scheidingswand in een cleanroom.

Vermogenselektronica:Op maat gemaakte gepulseerde biasgeneratoren, geoptimaliseerd voor het isoleren van substraten of temperatuur-gevoelige basismaterialen.

Lekdetectie:Lektests met heliummassaspectrometer uitgevoerd op alle vacuümkamers en lasnaden, waarbij de totale leksnelheid onder de 1,0 x 10^-9 Pa*m^3/s blijft.

Elektrische veiligheidsaudit:Isolatieweerstands- en aardingscontinuïteitstests voldoen aan de CE- en elektrische veiligheidsnormen.

Functioneel drooglopen:72-uurs continue geautomatiseerde droge-cyclustest van mechanische rotatieaandrijvingen, klepvolgorde en koelwaterstroomvergrendelingen.

Procesverificatie (FAT):Optionele afzetting van referentie-TiN-coatings op door de klant-geleverde testcoupons om de uniformiteit van de filmdikte, de nano-hardheid en de krashechtsterkte te verifiëren voorafgaand aan het inpakken.

Handleiding voor locatievoorbereiding:Gedetailleerde technische documentatie van de faciliteit met betrekking tot vloerbelastingslimieten, uitlaatkanalen, specificaties voor gekoeld water en elektrische storingen, verstrekt 4 weken vóór levering.

Inbedrijfstelling op-site:Buitendienstmonteurs houden toezicht op de mechanische positionering, aansluitingen op nutsvoorzieningen, vacuümafdichting en elektrische integratie.

Procestraining:Praktische-training voor operators over kameronderhoud, protocollen voor doelvervanging, probleemoplossing voor vacuüm en receptbeheer.

Diagnose op afstand:Veilige industriële VPN-gateway geïntegreerd in de schakelkast voor software-updates op afstand, analyse van parameterregistratie en foutdiagnose.