Dit kathodische boogverdampingssysteem verdampt vaste kathodedoelen via een elektrische boog met lage- spanning en hoge- stroom om volledig geïoniseerd metaalplasma te genereren. Vergeleken met standaard thermische verdamping of magnetronsputteren levert dit PVD-proces een hogere plasmadichtheid en een superieure film-aan-substraathechting op, op maat gemaakt voor functionele, slijtvaste- en decoratieve harde coatings.
Technische specificaties
|
Parameter |
Specificatie Bereik / Waarde |
|
Kamerafmetingen |
Aangepaste cilindrische/doosconfiguraties (standaard: Φ600 mm x 600 mm tot 1200 mm x 1200 mm) |
|
Ultieme vacuümdruk |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo-molecular and rotary vane/roots pump suite) |
|
Pomp-Stiltijd |
Atmosferisch tot 8,0 x 10^-3 Pa in<= 15 minutes (Dry, clean, empty chamber) |
|
Boogvoedingen |
Gepulseerde en gelijkstroomgeneratoren (uitgang: 0 - 200Een instelbare rimpel<= 1%) |
|
Kathodebronnen |
2 tot 6 magnetisch-gefilterde of standaard ronde/rechthoekige stuurboogbronnen |
|
Substraatvoorspanning |
0 - -1000V DC/gepulseerde bias (frequentie: 10 - 100 kHz) |
|
Substraatrotatie |
Planetair of enkel--as-rotatiemechanisme (1 - 15 RPM) met water-/elektrische doorvoeren |
|
Operationele controle |
PLC + industriële pc met geautomatiseerde receptuitvoering en handmatige vergrendelingsoverrides |
Belangrijkste kenmerken
Magnetisch gefilterde bronnen:Interne magnetische kanalen buigen microdruppeltjes weg van de dampstroom, waardoor een lage oppervlakteruwheid (Ra) voor precisieonderdelen wordt gegarandeerd.
Gesloten-Loop Bias-regeling: Synchronized pulsed bias regulation manages ion bombardment energy dynamically, relieving residual internal stress in thick ceramic coatings (>10 urn).
Hoge ionisatiesnelheid:De plasma-ionisatie-efficiëntie bereikt 40% - 80%, waardoor een dichte chemische binding ontstaat zonder hulp van externe radiofrequenties.
Modulair kamerontwerp:Vervaardigd uit 304/316L roestvrij staal met elektrisch-gepolijste interne oppervlakken (Ra<= 0.4 um), minimizing outgassing and vacuum cycle times.
Configuratie van het vacuümsysteem
Voorbewerkings- en wortelspompen:Twee-traps schottenpompen in combinatie met mechanische boosterblowers kunnen het initiële voorbewerken en hoge gasbelastingen aan tijdens reactieve N2- of C2H2-injectie.
Hoge vacuümpompen:Magnetische levitatie-turbo-moleculaire pompen (1200 - 3200 l/s) handhaven hoge pompsnelheden voor resterende waterdamp en lichte gassen.
Kleppen en meting:Pneumatische schuifafsluiters, ISO/CF hoge-vacuümafdichtingsflenzen en gecombineerde Pirani/hete-kathode-ionisatiemeters die rechtstreeks in de PLC-vergrendelingslus zijn geïntegreerd.
Compatibiliteit van materialen en substraten
Compatibele kathodedoelen
Zuivere metalen:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Ni, Ag, Mo, W
Legeringen en verbindingen:TiAl, CrAl, TiSi, WC, grafietdoelen voor afzetting van diamant-achtige koolstof (DLC)
Substraatmaterialen
Harde metalen en carbiden:Gecementeerde carbiden (WC-Co), snel-snelstaal (HSS), roestvrijstalen snijplaten
Halfgeleiders en keramiek:Siliciumwafels, aluminiumoxide (Al2O3), technisch technisch keramiek
Toepassingen
Snijgereedschappen en matrijzen:TiN-, TiAlN- en CrN-afzetting op boren, vingerfrezen en stempelmatrijzen om de oppervlaktehardheid te verhogen tot 2500 - 3500 HV en wrijving te verminderen.
Auto-onderdelen:Slijtvaste -bestendige lagen- met lage wrijving op zuigerveren, injectorpennen en tandwieltanden.
Decoratieve harde coatings:PVD-kleurcoatings (goud, roségoud, brons, zwart titanium) voor behuizingen van hardware en consumentenelektronica.
Functionele dunne films:Geleidende en barrièrelagen voor micro-elektronica en halfgeleiderverpakkingen.
Maatwerk
Kamergrootte:Geschaalde volumevariaties die overeenkomen met specifieke batchgeometrieën en productievoetafdrukken.
Bronhybridisatie:Meer-kathode-integraties die kathodische boogbronnen combineren met ongebalanceerde magnetronsputterkathoden (UBMS) voor gradiëntmeer-laagfilms.
Substraatbevestiging:Op maat gemaakte planetaire mallen, gelokaliseerde verwarmingsarrays tot 600 graden en aangepaste stroomdoorvoeren.
Software-integratie:Aangepaste PLC-receptlogica, SCADA-datalogging en industriële compliance-configuraties.
Kwaliteitscontrole
Lekdetectie:Heliummassaspectrometertests op alle kamers en lasnaden, garanderen een totale leksnelheid van<= 1.0 x 10^-9 Pa·m^3/s.
Elektrische veiligheidsinspectie:Het diëlektricum met hoog-potentieel is bestand tegen testen, aardingscontinuïteitscontroles en verificatie van de vergrendelingsreactie voorafgaand aan het inpakken.
Traceerbaarheid van materialen:Materiaaltestrapporten (MTR's) voor structureel roestvrij staal, vacuümafdichtingen en hoog-hoogspanningsisolatiecomponenten.
Proefperiode vóór-:72-uur durende continue drooglooptest van de pompinstallatie, rotatieaandrijvingen en voedingen onder gesimuleerde cycli.
Installatie en technische ondersteuning
Handleiding voor locatievoorbereiding:Utilities documentation covering floor load limits, cooling water flow rates (>15 m^3/u bij 20 - 25 graad), uitlaatgasafzuiging en elektrische spanningsval (380V/480V, 3-fasig, 50/60Hz).
Inbedrijfstelling & Acceptatie:Factory Acceptance Testing (FAT) in onze fabriek; Site Acceptance Tests (SAT) en procesoverdracht uitgevoerd op-site door lokale technici.
Levenscyclusondersteuning:Veilige VPN-diagnose op afstand, voorraadvoorraad reserveonderdelen (doelen, schilden, afdichtingen) en lokale onderhoudstraining voor technici.
Veelgestelde vragen
Vraag: Hoe minimaliseert het systeem de vorming van druppels (macrodeeltjes) die inherent zijn aan boogverdamping?
A: Het systeem maakt gebruik van magnetisch gefilterde kathodische boogbronnen (magnetische sturing en kanaalfiltering). Hierdoor wordt de plasmastroom gebogen terwijl microdruppeltjes op de interne schotten worden opgevangen, waardoor een gladde, druppel-vrije filmmorfologie ontstaat.
Vraag: Wat is het temperatuurbereik van het substraat tijdens depositie en hoe wordt de warmte beheerd?
A: Operationele temperaturen variëren van 150 graden tot 500 graden. Geïntegreerde stralingsverwarmers en gesloten-water--koelkanalen in de substraathouder voorkomen thermische vervorming van gevoelige componenten.
Vraag: Kan de apparatuur continu geautomatiseerde productiecycli uitvoeren?
EEN: Ja. De PLC-architectuur automatiseert het afpompen, de doelconditionering, de boogontsteking, de reactieve gasregeling via massastroomregelaars (MFC's) en de ontluchtingssequenties over meerdere batchruns.
V: Welke nutsvoorzieningen moeten vóór de levering-op de locatie gereed zijn?
A: Vereisten omvatten een stabiele toevoer van gekoeld water, perslucht (0.6 - 0.8 MPa) voor pneumatische kleppen, elektrische voeding die past bij de systeembelasting (60 - 120 kVA) en gereguleerde procesgasleidingen (argon, stikstof, acetyleen).
Populaire tags: boogverdamping dunne filmapparatuur, China boogverdamping dunne filmapparatuur fabrikanten, leveranciers, fabriek
