Apparatuur voor boogverdamping

Industrieel platform voor fysische dampafzetting (PVD), ontworpen voor een snelle synthese van dichte, slijtvaste en functionele harde coatings. Het in stand houden van een kathodische boogontlading met hoge-stroom en lage- spanning op vaste doeloppervlakken genereert een 80% tot bijna 100% geïoniseerde plasmastroom.

Gecombineerd met programmeerbare negatieve substraatvoorspanning zorgt deze hoge kinetische energie voor grensvlakmenging op atomaire -schaal, waardoor een superieure filmhechting en een kolomvormige porositeit van nul wordt verkregen. De kamerarchitectuur ondersteunt modulaire meer-kathodeconfiguraties voor geautomatiseerde afzetting van enkel-laags, meer-laags nano-laminaten en stoichiometrische gradiëntcoatings (TiN, TiAlN, CrN, TiCN).

Hoge ionisatiesnelheid:Directe kathodische verdamping zet de metaalstroom om in ionen met een hoge-dichtheid, waardoor dichte korrelstructuren zonder micro-holtes ontstaan.

Actieve magnetische besturing:Programmeerbare elektromagnetische spoelen vegen de boogvlek over doelvlakken, waardoor plaatselijke kraters worden onderdrukt en het doelmateriaalgebruik boven de 60% wordt gebracht.

Dynamische gascontrole:Gesloten-massastroomregelaars (MFC's) regelen de reactieve gasinjectie (N2, O2, C2H2) via real-time partiële drukfeedback.

Synergie uit meerdere- bronnen:Kamerwanden zijn geschikt voor hybride doelindelingen, waardoor ononderbroken opeenvolgende afzetting van keramische lagen met meerdere- componenten in één vacuümcyclus mogelijk is.

Voorbewerken & Wortels Groep:Draaischuifpomp met directe- aandrijving gecombineerd met een Roots-blower met hoge- cilinderinhoud om hoge gasbelastingen aan te kunnen tijdens reactieve verwerking.

Hoog vacuümstadium:Magnetic levitation turbomolecular pump (>= 1600 L/s) gekoppeld via een pneumatische schuifafsluiter met hoge- geleiding.

Vacuüminstrumentatie:Vergrendelde Pirani en koude kathode dubbele-meteropstelling die het totale drukbereik bewaakt van atmosfeer tot 10^-6 Pa.

Lekkage-integriteit:Elastomeer-afgedichte flenzen met water-mantelkoeling zorgen ervoor dat de leksnelheid van het systeem onder de 1,0 x 10^-9 Pa*m3/s blijft.

Kathodedoelmaterialen
Overgangsmetalen en legeringen:Titanium (Ti), chroom (Cr), zirkonium (Zr), aluminium (Al), titanium-aluminium (TiAl 50/50, 33/67), wolfraam (W).

Niet-metalen:Grafiet (C) met hoge-zuiverheid voor diamant-zoals koolstof- (DLC)- en carbidelagen.

Industriële substraten
Gereedschapsstaal en carbiden:Snel-snelstaal (HSS), gecementeerde carbiden (WC-Co).

Structurele legeringen:Austenitisch/martensitisch roestvrij staal, titaniumlegeringen (TC4), op nikkel- gebaseerde superlegeringen (Inconel).

Precisie snijgereedschappen:Afzetting van TiAlN en AlTiN op boren, vingerfrezen en tandwieltandwielen om de oppervlaktehardheid te verhogen tot 3300-3500 HV en de thermische oxidatieweerstand te verhogen tot 800 graden.

Automobieltechniek:Lage-wrijvings-, slijtvaste-coatings op brandstofinjectiecomponenten, zuigerveren en klepstoters.

Mallen en matrijzen:Chroomnitride (CrN)-afzetting op kunststof spuitgietmatrijzen om lijmslijtage, micro-lassen en harshechting te voorkomen.

Kamergrootte:Geometrische aanpassingen op maat gemaakt voor extra grote architecturale panelen of kleine gereedschapscarrousels met hoge- verwerkingscapaciteit.

Bronhybridisatie:Integratie van kathodische boogbronnen met ongebalanceerde magnetron (UBM) sputteren of HiPIMS-kathodes in een verenigd lichaam.

Automatiseringsinterfaces:Fabrieks-MES-integratie via OPC-UA-protocollen naast geautomatiseerde laadluikopties.

Verificatie van heliumlekken:Massaspectrometer-lekcontrole uitgevoerd op alle lasnaden en vacuümafdichtingen.

Elektrische veiligheidsaudit:Hipot-isolatietesten, continuïteitscontroles van de aarding en E-stop-circuitlusverificatie.

Inbrandtest van 72-uur:Continue droogloop-cycli van mechanische rotatieaandrijvingen, waterstroomschakelaars en PLC-klepsequenties voorafgaand aan de demontage.

Fabrieksacceptatietesten (FAT):Uitgevoerd op-site om basisvacuümniveaus, boogontstekingsstabiliteit en basislijndikteverdeling op kalibratiecoupons te valideren.

Faciliteitsvereiste overdracht:Detailed utility drawings specifying floor loading capacity, chilled water specifications (>= 0.3 MPa, 15-25 graden), uitlaatgasafzuiging en stroomuitval (3-fasig, 380V/480V).

Inbedrijfstelling ter plaatse:On-supervisie op locatie door mechanische en elektrische veldingenieurs met betrekking tot uitlijning, aansluiting en proefbatches.

Operatortraining:Gestructureerde instructies over de configuratie van softwarerecepten, procedures voor het uitwisselen van kathodedoelen en preventief vacuümonderhoud.

Diagnose op afstand:Veilige industriële VPN-gateway ingebed in het bedieningspaneel voor softwaretelemetrie en ondersteuning voor probleemoplossing.