Vacuümverdampingscoatingapparatuur

De vacuümverdampingscoatingapparatuur integreert elektronenbundelverdamping en ionenondersteunde depositie (IAD) technologieën, ondersteunende composietcoating met meerdere processen en is geschikt voor de voorbereiding op optische films. De apparatuur is uitgerust met een lage temperatuurval en een dubbel elektronenwapensysteem, met een limiet vacuüm van<5.0×10⁻⁶ Pa, and the uniformity of the film layer is controlled within ±1%. The vacuum evaporation composite coating equipment can simultaneously be compatible with AR film, AF film and metal decorative film, meeting the multi-functional coating requirements of complex optical devices.

· De composietcoatingapparatuur van vacuümverdamping heeft een volledig automatisch besturingssysteem voor filmdikte aangenomen, ter ondersteuning van zowel lichtcontrole als kristalregelingsmodi;

· The composite process reduces the stress of the film layer and enhances the adhesion of the hard coating (>5N);

· Het modulaire ontwerp maakt snelle bronvervanging mogelijk en voldoet aan de vereisten van zowel onderzoek als massaproductie.

Toepassingsvelden: laserapparaten, optische sensoren, halfgeleiderverpakkingen, enz.